陕西扫描电镜工作原理简述图

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扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种广泛用于研究材料、纳米科技、生物医学等领域的显微镜,其工作原理基于电子显微学。本文将简述扫描电镜的工作原理,并配以示意图,以便读者更好地理解其基本原理。

扫描电镜的工作原理如下:

1. 样品准备

扫描电镜成像需要准备良好的样品。通常使用高纯度金属或半导体作为样品。将样品放入扫描电镜的真空室中,并使用扫描电镜的台子将其固定在扫描电镜的物镜焦点上。

2. 电子枪

扫描电镜使用电子枪来产生电子。电子枪是一个加热蒸发源,它将样品表面的原子或分子激发并蒸发成电子。这些电子被加速并聚焦在扫描电镜的焦点上,形成一个高能电子束。

3. 透镜系统

高能电子束穿过扫描电镜的透镜系统。透镜系统由两个凸透镜组成,分别位于高能电子束的入口和出口。这两个透镜将电子束聚焦在扫描电镜的焦点上。

4. 探测器系统

扫描电镜的探测器系统用于检测电子束的轨迹。探测器系统由一个磁偏转板和一个检测器组成。当电子束撞击探测器时,它将被偏转板上的磁场所偏转,并通过检测器检测。

5. 扫描系统

扫描电镜的扫描系统用于控制电子束的聚焦和成像。扫描系统由一个可移动的透镜和一个探测器组成。通过改变透镜的位置和角度,扫描系统可以控制电子束的聚焦和成像。

6. 成像系统

扫描电镜的成像系统由一个物镜和一个目镜组成。物镜将电子束聚焦在焦点上,而目镜则将电子束成像到扫描电镜的屏幕上。

家人们,总结上面说的。 扫描电镜的工作原理涉及样品准备、电子枪、透镜系统、探测器系统、扫描系统和成像系统。扫描电镜通过这些系统来产生高能电子束并将其成像到扫描电镜的屏幕上。